2007-02-27: Nicht mehr Geschäftsführer: Viefhues, Ludger, Bochum, *01.08.1942. Bestellt als Geschäftsführer: Turner, William I., Palo Alto/Kalifornien(U.S.A.), *20.02.1956, einzelvertretungsberechtigt.
2008-08-12: Bestellt als Geschäftsführer: Moring, Andrew, Saratoga/Kalifornien/USA, *21.03.1955, einzelvertretungsberechtigt. Nicht mehr Geschäftsführer: Turner, William I., Palo Alto/Kalifornien(U.S.A.), *20.02.1956.
2011-11-15: Bestellt als Geschäftsführer: Dodson, Michael, Scottsdale (USA), *20.11.1960, einzelvertretungsberechtigt. Nicht mehr Geschäftsführer: Moring, Andrew, Saratoga/Kalifornien/USA, *21.03.1955.
2013-04-02: Bestellt als Geschäftsführer: Chen, Fusen E., Saratoga (USA), *25.05.1959, einzelvertretungsberechtigt mit der Befugnis, im Namen der Gesellschaft mit sich im eigenen Namen oder als Vertreter eines Dritten Rechtsgeschäfte abzuschließen. Nicht mehr Geschäftsführer: Dutton, David, Tracy/California (U.S.A), *25.04.1960. Gesamtprokura gemeinsam mit einem Geschäftsführer oder einem anderen Prokuristen: Keppler, Johannes, Erbach, *21.12.1972; Spies, Simone, Ulm, *26.09.1973.
2014-12-29: Der zwischen der Gesellschaft und der "Mattson Technology Holding GmbH", Dornstadt (Amtsgericht Ulm HRB 4888) am 22.03.2002 abgeschlossene Gewinnabführungsvertrag wurde durch Vereinbarung vom 07.11.2014 geändert. Die Gesellschafterversammlungen haben der Änderung am 20.11.2014 und 19.12.2014 zugestimmt.
2015-09-25: Prokura erloschen: Spies, Simone, Ulm, *26.09.1973. Gesamtprokura gemeinsam mit einem Geschäftsführer oder einem anderen Prokuristen: Janisch, Joachim, Roggenburg, *14.02.1973.
2016-11-03: Nicht mehr Geschäftsführer: Chen, Fusen E., Saratoga / Vereinigte Staaten, *25.05.1959. Gesamtprokura gemeinsam mit einem Geschäftsführer oder einem anderen Prokuristen: Hezler, Dieter, Lonsee, *29.08.1964.
2017-11-20: Bestellt als Geschäftsführer: Lu, Hao Allen, Palo Alto / Vereinigte Staaten, *23.11.1956, einzelvertretungsberechtigt. Nicht mehr Geschäftsführer: Dodson, Michael, Scottsdale , *20.11.1960.
2018-08-15: Prokura erloschen: Keppler, Johannes, Erbach, *21.12.1972. Gesamtprokura gemeinsam mit einem Geschäftsführer oder einem anderen Prokuristen: Yang, Michael Xiaoxuan, Palo Alto / Vereinigte Staaten, *22.04.1972.
2021-06-24: Bestellt als Geschäftsführer: Schubert, Chu, San Francisco / Vereinigte Staaten, *09.09.1993. Prokura erloschen: Yang, Michael Xiaoxuan, Palo Alto/Vereinigte Staaten, *22.04.1972.
2021-07-05: Personenbezogene Daten von Amts wegen berichtigt bei Geschäftsführer: Schubert, Chu, San Francisco / Vereinigte Staaten, *09.09.1973.